現在5歳3か月になる娘(ASD傾向、知的もあるかも、発語少なめ)ですが、本人のコンディションが悪いと、他の子の頭を叩く他害行為が生じています。

相手は決まって「自分より小さな子ども」です。大きい子には手出ししません。

1年以上療育には通い、家でも発達障害系の育児書の通り、怒鳴らずに共感の声かけを心がけています。
3歳半の頃(おそらく自我がはっきりし始めて)から、大声を出して威嚇することが始まり、少し成長すると、ぶーっと唾をかけるような行為に変わり、現在は完全な他害…。
ぶーっとやりだした頃から、お友だちにはバイバイね、と代替行為も提示し出来た時は褒めています。

療育に相談しても、今やってることを続けましょうという感じ。
しかし、形が変わるだけで、どうにも減っている感覚はありません…むしろ悪化。

ちなみに原因は「見られている」から。
ちょっとすれ違う子の顔がこちらに向いているだけで、視線に敏感な娘にとっては不快の原因になります。

また最近では、私の顔が自分に向いていることが分かっていて、あえて叩きに行くことも増えました。(こうなると本人のもとに慌てて駆けつけることが、構ってくれてる！というプラス要素になるので、もはや対策が見当たりません)

お子さんに他害行為があった方で、これをやってみたら良かったよ、ということはあるでしょうか？
また、他害行為が落ち着くことはあるのでしょうか？

怒鳴る必要は無いけど＜駄目なものは駄目＞と指導することは必要かと思います。
諭すやり方だけで上手くいくのは正直一部の子だけかと思います。

他害がある子に「自分がされて嫌なことはしないよ」という諭し方は向かないです。そもそも本人の捉え方が歪んでいるので「私は嫌じゃない」って言われたら終わりですし、実際ASDだとそう言う子は多いです。
本人が悪いことをしたなら注意する、いつも叩くところを止めれたら褒める。それの繰り返しかと思います。
障がい児育児は叱らない育児ではなく、ABAのABC分析が必要です。

問題は本人のパーソナルスペースの狭さ、見られた＝攻撃されたという認知の仕方なので易刺激性が強いお子さんだと言えると思います。５歳であるのなら療育だけでなく、投薬も１つの選択肢になるかと思います。
易刺激性投薬に関するリタリココラム：https://h-navi.jp/column/article/35026878

慌てて駆けつけるという表現から多少離れたところに居るのだと思いますが、他害あるのであれば常にぴったりそばに居た方がいいと思います。私は離れない為に遊具も全て付いて回りました。
叩こうとした瞬間手を取れる位置に居ない限りは防げないし、相手の親からも「ちゃんと見てろよ！」と言われてしまうと思います。

児童精神科にはかかっていますか？
かかっていない様であれば予約だけでも早めにした方が良いです。半年待ちとか当たり前なくらい予約が取りにくいので。（新規受け入れストップしているところすらあります）
就学先は支援級でしょうか？他害あるまま普通級だとかなり問題になるかと思います。
知能検査や発達の凸凹など見る為にWISC検査受けられたらいかがでしょうか？